?其實(shí)蝕刻機(jī)和光刻機(jī)是兩個(gè)完全不同的設(shè)備，在功能和結(jié)構(gòu)上完全不同。光刻機(jī)是整個(gè)芯片制造過程中最重要的器件，芯片工藝是由光刻機(jī)而不是蝕刻機(jī)決定的。如下所示:

1.工作原理

如果把做芯片比作蓋房子的話，光刻機(jī)的作用就是在地上標(biāo)出房子的結(jié)構(gòu)。蝕刻機(jī)是光刻完成后登場的設(shè)備，也是光刻完成后最重要的設(shè)備之一。蝕刻機(jī)的主要作用是根據(jù)光刻機(jī)中的標(biāo)記線做基礎(chǔ)施工，去掉不需要的地方，只留下光刻過程中的標(biāo)記線。

光刻機(jī)相當(dāng)于畫師，蝕刻機(jī)是雕刻師。前者在硅片上投射出精細(xì)的電路圖(就像相機(jī)給膠片感光一樣)，后者根據(jù)這個(gè)圖刻出線條(就像刻印章一樣，蝕刻掉不必要的部分)。

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蝕刻機(jī)?

2.結(jié)構(gòu)

光刻機(jī)最重要的核心技術(shù)是光源和光路，主要部件是光源、曝光、探測等高精度機(jī)械。相比之下蝕刻機(jī)的結(jié)構(gòu)就簡單多了，主要由等離子射頻源、反應(yīng)室和真空氣路組成。

3.賣價(jià)

光刻機(jī)的價(jià)格很高，蝕刻機(jī)的價(jià)格要低很多。

4.過程

蝕刻機(jī)蝕刻硅片多余的部分，光刻機(jī)蝕刻硅片上的圖案。

5、難度

光刻機(jī)的難度和精度都大于蝕刻機(jī)。